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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>硅島式微諧振壓力傳感器靈敏度分析與仿真

      硅島式微諧振壓力傳感器靈敏度分析與仿真

      2021-03-18 | rar | 0.38 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　微諧振式壓力傳感器尺寸小、重量輕、精度高并具有數(shù)字輸出， 在航空航天等領域有著廣闊的應用前景。然而由于微機械加工工藝的限制， 復雜結構的制作存在很多困難， 因而為實現(xiàn)高靈敏度壓力測量， 微諧振式壓力傳感器的結構設計就顯得尤為重要， 因此提出一種新型硅島式諧振梁支撐結構， 它利用硅薄膜作為典型的一次敏感元件， 并在其上表面中央部位設計了兩個硅島凸起平臺， 用以固定硅諧振梁， 并通過有限元軟件ANSYS 進行仿真。分析結果表明， 在一定量程內， 該結構能有效提高諧振梁內的應力放大倍數(shù)， 進而提高微壓力傳感器的靈敏度。

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