資料介紹
本文對(duì)板式及管式PECVD中的微波和射頻功率進(jìn)行了調(diào)節(jié),通過分析其對(duì)氮化硅薄膜厚度與折射率的影響,指出其對(duì)目前生產(chǎn)線工藝的影響,以及對(duì)最終電池片電性能的幫助作用。
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