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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>工控技術(shù)>多晶硅鑄錠之晶體的形成與生長(zhǎng)過(guò)程詳述

多晶硅鑄錠之晶體的形成與生長(zhǎng)過(guò)程詳述

2017-10-20 | rar | 0.1 MB | 次下載 | 免費(fèi)

資料介紹

  在真空熔煉過(guò)后,還要經(jīng)過(guò)一個(gè)降溫穩(wěn)定,就進(jìn)入定向凝固階段。這個(gè)過(guò)程既是多晶硅的晶體生長(zhǎng)過(guò)程,也能夠?qū)厥樟虾鸵苯鸱ǘ嗑Ч枇现泻械碾s質(zhì)進(jìn)行進(jìn)一步的提純。

  (一) 定向凝固與分凝現(xiàn)象

  硅液中的雜質(zhì)在硅液從底部開(kāi)始凝固的時(shí)候,雜質(zhì)趨向于向液體中運(yùn)動(dòng),而不會(huì)停留在固體中。這個(gè)現(xiàn)象叫做分凝現(xiàn)象。

  在固液界面穩(wěn)定的時(shí)候,雜質(zhì)在固體中的數(shù)量與在液體中的數(shù)量的比值,叫做分凝系數(shù)。分凝系數(shù)小于1的雜質(zhì),在進(jìn)行定向凝固的時(shí)候,都會(huì)趨向于向頂部富集。富集的數(shù)量和程度,取決于分凝系數(shù)的多少。一般來(lái)說(shuō),金屬雜質(zhì)的分凝系數(shù)都在10-3 以下(鋁大約是0.08),所以,定向凝固方式除雜,對(duì)于金屬雜質(zhì)比較有效;而硼和磷的分凝系數(shù)分別為0.8和0.36,因此,硼和磷的分凝現(xiàn)象就不是太明顯。

  在定向凝固提純的同時(shí),考慮硅的長(zhǎng)晶工藝,使得定向凝固后的硅能夠成為多晶硅錠而直接進(jìn)行切片,這就是將提純與鑄錠統(tǒng)一在一個(gè)工藝流程中完成了。這也是普羅的提純鑄錠爐的重要提純手段。由于含有雜質(zhì)的硅料和高純料的結(jié)晶和熔液的性質(zhì)都不太一樣,因此,提純鑄錠爐所采用的熱場(chǎng)與純粹鑄錠爐的熱場(chǎng)是有區(qū)別的。

  普羅新能源公司目前采用自己研制的提純鑄錠一體化的專利設(shè)計(jì),比較成功地解決了這個(gè)問(wèn)題,使得真空熔煉與鑄錠是在一次工藝?yán)锿瓿傻?,既較好地解決了提純的問(wèn)題,也圓滿地完成了鑄錠的要求。

 ?。ǘ┚w生長(zhǎng)過(guò)程

  定向凝固分為以下四個(gè)階段,包括:晶胚形成、多晶生長(zhǎng)、頂部收頂、退火冷卻。

  晶胚形成

  在熔煉過(guò)后,要把硅溶液的溫度降低到1440 ℃左右,并保持一段時(shí)間,然后,使坩堝底部開(kāi)始冷卻,冷卻到熔點(diǎn)以下6-10 ℃左右,即1404-1408 ℃左右。

  RDS4.0型的爐體降低底部溫度的方法是降低底部功率,和逐漸打開(kāi)底部熱開(kāi)關(guān)的方式。與常規(guī)鑄錠爐的提升保溫體和加熱體方式相比,由于不存在四周先開(kāi)始冷卻然后才逐步到中央的過(guò)程,因此,底部溫度要均勻得多。

  鑄錠時(shí),底部紅外測(cè)溫的數(shù)據(jù)不完全是硅液底部的溫度,因?yàn)?,該測(cè)點(diǎn)與坩堝底部的硅液還隔了至少一層坩堝,因此,紅外溫度僅能參考,還是要根據(jù)每臺(tái)爐子各自的經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)。這時(shí),底部會(huì)形成熔點(diǎn)以下的過(guò)冷液體,由于坩堝底部的微細(xì)結(jié)構(gòu)的不均勻,在一些質(zhì)點(diǎn)上會(huì)形成晶核,即這些質(zhì)點(diǎn)會(huì)首先凝固,形成結(jié)晶。這些質(zhì)點(diǎn)可能是坩堝上突出的不均勻點(diǎn),可能是坩堝的凹陷,由于位置比其它位置低,所以在降溫的時(shí)候,溫度也會(huì)較低。

  晶核形成后,由于太陽(yáng)能電池需要的是徑向尺寸較大的柱狀晶,因此,最好不要讓晶核一旦形成就立刻向上生長(zhǎng),這樣會(huì)導(dǎo)致晶粒過(guò)細(xì);而是首先要讓晶核形成后,先在坩堝底部橫向生長(zhǎng),等長(zhǎng)到一定的尺寸后,再向上生長(zhǎng)。這樣,要求坩堝底部的溫度在下降到熔點(diǎn)稍低后,就保持平穩(wěn),不再下降。這樣,坩堝底部晶核形成后,由于向上生長(zhǎng)時(shí),溫度太高,無(wú)法生長(zhǎng),因此,只能橫向生長(zhǎng)。

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