資料介紹
多晶硅鑄錠的裝料是一個很關(guān)鍵的過程,這個過程常常被忽視。但對于多晶硅提純和鑄錠來說,這個過程有任何疏忽,都會導(dǎo)致鑄錠失敗,甚至?xí)劤蓢?yán)重的事故。
首先,要注意硅料運(yùn)送和處理過程中的防污染。硅料從前道工序來的時候,一定要注意包裝和保護(hù),不能有任何污染的機(jī)會。這些污染源包括:外物掉入、肉體接觸、臟的手套或工具接觸、不潔的包裝或容器、空氣中的灰塵、等等。因此,硅料的運(yùn)送和儲存是一個非常嚴(yán)格的過程,不能有任何馬虎,其對于潔凈度的要求,要比食品或藥品要高得多。
其次,在裝料的過程中,一定要注意不能將坩堝損壞。坩堝是石英陶瓷的,其強(qiáng)度很脆,很容易在硅塊的撞擊下碎裂。要是真的碎裂還是幸運(yùn)的,因為能夠當(dāng)場發(fā)現(xiàn),至多坩堝報廢,損失幾千元。但絕大多數(shù)情況下,坩堝發(fā)生的是隱裂,這時,根本無法發(fā)現(xiàn),這樣的隱裂在生產(chǎn)過程中會直接導(dǎo)致漏硅事故,而導(dǎo)致爐體損壞,可能就是幾萬甚至幾十萬元的損失。因此,就要求我們裝料的時候要十分小心,輕拿輕放,不能為了多裝料而用力向下壓或砸硅料。
第三,對于一些鑄錠坩堝,表面有氮化硅涂層作為脫模劑。雖然經(jīng)過燒結(jié),這些涂層依然十分脆弱。稍有碰撞就會脫落,一旦脫落就失去了涂層的作用,導(dǎo)致硅料與坩堝戰(zhàn)粘結(jié)而導(dǎo)致硅錠破裂。對于有涂層的坩堝需要仔細(xì)地裝料,通常需要在接觸坩堝的四壁和底部放置一些板狀或片狀硅材料,以免塊料的尖角刮壞涂層。
第四,裝料時,工人要穿著防汗服,戴雙層乳膠手套,戴口罩和帽子,決不能用手指直接接觸硅料。要嚴(yán)禁有汗滴掉入硅料里,也不能打噴嚏。這些都會對硅料產(chǎn)生非常嚴(yán)重的污染。為了避免出汗,則應(yīng)當(dāng)在涼爽的地方裝料,或者向裝料人員提供冷風(fēng)機(jī)。裝料時,絕對不能摘下口罩和帽子,手套如果被硅劃破,必須更換。更換過的手套不得再次使用。
第五,許多工廠設(shè)立了裝料室,提供空調(diào),這樣可以改善裝料條件,使工人能夠更加從容地裝料。在裝料室將料裝入坩堝后,再通過送料機(jī)構(gòu)送入爐內(nèi)。裝滿料的坩堝在運(yùn)送時要加以十倍的小心。任何一個輕微的震動,就會導(dǎo)致坩堝發(fā)生破裂或隱裂。因此,必須保證百分之百的平穩(wěn)運(yùn)送。裝料的坩堝在運(yùn)送時,底部一定要有柔性的墊子,吸收掉萬一不慎的震動對坩堝的沖擊。
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