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介紹了一種基于懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的雙定子軸向靜電微電機(jī)控制系統(tǒng)的信號檢測方法，它對實(shí)現(xiàn)懸浮轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的閉環(huán)控制尤為重要，其主要特點(diǎn)是采用互相關(guān)檢測一鎖定放大、DSP控制直接數(shù)字頻率合成(DDS)產(chǎn)生正弦波，并通過實(shí)際正弦波發(fā)生電路和系統(tǒng)仿真驗(yàn)證其可行性，這些提供了解決微小電容檢測在實(shí)際電路實(shí)現(xiàn)上的一些關(guān)鍵問題的辦法，為實(shí)際電路參數(shù)選擇提供重要參考。
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