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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電源技術(shù)>射頻電源的工作原理是什么樣的？

      射頻電源的工作原理是什么樣的？

      2018-09-27 | rar | 0.22 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      　　CX系列射頻電源是一款應(yīng)用在半導(dǎo)體領(lǐng)域的高頻功率放大器，他是一款等離子體發(fā)生器。其主要功能為半導(dǎo)體的等離子刻蝕，PECVD，PVD，濺射鍍膜等提供高頻等離子體激勵(lì).

      　　射頻電源內(nèi)部工作原理如下：

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