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摘 要：?? 基于微機(jī)械工藝制作的加速度計(jì)，許多都是采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)電容的變化來反映被測(cè)量的方向和大小。針對(duì)該需?求研制了檢測(cè)微小電容變化的電路。它檢測(cè)電容變化的頻率范圍為D C~3 0?k Hz ，對(duì)寄生電阻、電容本質(zhì)不敏感，既可以?檢測(cè)單邊電容變化，也可以檢測(cè)差動(dòng)電容變化，而且很容易由分離電路元件實(shí)現(xiàn)。該電路輸出噪聲極低 ，標(biāo)稱電容為1 0p F時(shí)，電容檢測(cè)分辨率可達(dá)3?a F/ ~ /Hz ，和量程為1g的電容加速度計(jì)連接 ，輸 出靈敏度為4 .5??V／g，加速度檢測(cè)分辨率可達(dá)7×1 0? g／~ ／Hz 。?
關(guān)鍵詞：?? 電容加速度計(jì)；?? 差分測(cè)量；?? 差分電容一 電壓變換器
關(guān)鍵詞：?? 電容加速度計(jì)；?? 差分測(cè)量；?? 差分電容一 電壓變換器
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