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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子元器件應(yīng)用>RTD與PHEMT集成的關(guān)鍵工藝

      RTD與PHEMT集成的關(guān)鍵工藝

      2011-06-24 | pdf | 144 KB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      ?

      在新型的共振隧穿二極管(RTD)器件與PHEMT器件單片集成材料結(jié)構(gòu)上,研究和分析了分立器件的制作工藝,給出了分立器件的制作工藝參數(shù).利用上述工藝成功制作了RTD和PHEMT器件,并在室溫下分別測(cè)試了RTD器件和PHEMT器件的電學(xué)特性.測(cè)試表明:在室溫下,RTD器件的峰電流密度與谷電流密度之比提高到1.78;PHEMT器件的最大跨導(dǎo)約為120mS/mm,在Vgs=0.5V時(shí)的飽和電流約為270mA/mm.這將為RTD集成電路的研制奠定工藝基礎(chǔ).
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