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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>薄膜體聲學(xué)諧振器(FBAR)USPCS波段雙工器的制造和性能注意事項(xiàng)

      薄膜體聲學(xué)諧振器(FBAR)USPCS波段雙工器的制造和性能注意事項(xiàng)

      2023-07-26 | pdf | 0.21 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      ?
      薄膜的制造工藝流程和測試數(shù)據(jù)體聲諧振器 USPCS 頻段 （1.9 GHz） 雙工器呈現(xiàn)。這些器件的典型插入損耗Tx/天線為 ~1.8 dB，接收/天線路徑為 ~2.2 dB。隔離性能在 Rx 頻段為 ~ -42 dB 和 ~ -53該技術(shù)還演示了Tx頻段的dB。從通帶到阻帶的 10 MHz 滾降可適應(yīng)頻率隨溫度和允許合理的工藝裕量。
      介紹
      雖然看似簡單，但懸浮膜FBAR設(shè)備的制造并非易事。必須小心采取確保關(guān)鍵變量，如中心頻率、聲耦合常數(shù)、電氣和機(jī)械 Q 以及結(jié)構(gòu)問題（包括薄薄膜應(yīng)力）被仔細(xì)控制。所有這些變量必須進(jìn)行管理以優(yōu)化性能和可靠性和過程吞吐量。
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