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微光學(xué)器件是指尺寸在微米到毫米級別的光學(xué)元件，其尺寸比傳統(tǒng)光學(xué)器件小很多。微光學(xué)器件利用了微納加工技術(shù)，將光學(xué)器件的功能集成到微米尺寸的芯片中，具有小型化、集成化、高效率、低成本等特點。微光學(xué)器件同時具備納米尺度的輪廓起伏變化和超光滑且透明的特點，該特點導(dǎo)致的測量需求，3d光學(xué)輪廓儀(白光干涉儀)能滿足。
3d光學(xué)輪廓儀通過利用白光的干涉和衍射現(xiàn)象，能夠?qū)ξ⑿〉谋砻娓叨炔町愡M行精確測量，并得出精準(zhǔn)的尺寸和形態(tài)數(shù)據(jù)。對于超光滑透明微光學(xué)器件的測量來說，3d光學(xué)輪廓儀不僅具備高精度和高分辨率的特點，還能夠快速、無損地獲得物體的三維形貌信息。
3d光學(xué)輪廓儀：超光滑透明微光學(xué)器件測量的利器
3d光學(xué)輪廓儀用于測量微光學(xué)器件應(yīng)用案例
為獲得更好的光學(xué)處理效果，需對玻璃或樹脂等光學(xué)材料結(jié)構(gòu)進行微納工藝加工，如時下流行的投影儀中勻光用的激光擴散片，還有各類組成特殊圖案的衍射元件，工業(yè)用光柵、特殊目的的光學(xué)器件。
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