微加工系統(tǒng)設(shè)計與控制
課程內(nèi)容介紹1.主要目的:
??? a.在于培育學(xué)生微加工系統(tǒng)各項模塊組件組成、設(shè)計、感測原理與機電接口控制技術(shù)。
??? b.了解微加工系統(tǒng)各項技術(shù)，包括：
制程控制、壓電組件、微奈米平臺進給驅(qū)動器與伺服控制、
位置量測、計算機整合精密機電系統(tǒng)、
微細精密加工系統(tǒng)之機電結(jié)構(gòu)、
驅(qū)動原理以及相對加工控制之策略。

2.課程特色:
?? 為以微奈米平臺伺服控制系統(tǒng)為實例，說明微加工系統(tǒng)設(shè)計與控制概念，提供學(xué)實際設(shè)計與操作模塊，培養(yǎng)學(xué)生系統(tǒng)整合與實作技術(shù)。

3.課程探討內(nèi)容:
? a.智能型材料的使用，如壓電、磁縮…等。
? b.智能型材料的驅(qū)動原理與控制電路
? c.智能型材料回授控制電路組立\流程。
? d.藉以仿真軟件了解材料機電特性與驅(qū)動? 模式。
? e.專題實作

工件夾持系統(tǒng)設(shè)計微小位移致動器簡介（理論講授）。
電機致動器之基本原理、內(nèi)部構(gòu)造、應(yīng)用實例與相關(guān)研究方向（理論講授）。
壓電、磁縮致動器之基本原理、應(yīng)用實例與相關(guān)參數(shù)之推導(dǎo)（理論講授）。
結(jié)構(gòu)仿真分析－運用有限元素法分析軟件ANSYS，藉由建構(gòu)相關(guān)結(jié)構(gòu)體之模塊化與步驟，模擬分析相關(guān)致動器微動狀態(tài) 。

驅(qū)動與控制電路簡介（理論講授）
驅(qū)動電路原理與設(shè)計：電機馬達驅(qū)動器、壓電驅(qū)????? 動器、與相關(guān)材料驅(qū)動技術(shù)，BJT/MOS FET相關(guān)原理與應(yīng)用（理論講授）
控制電路原理與設(shè)計：CPLD、FPGA與DSP相關(guān)電路之? 軟硬件教學(xué)（理論講授）
電路仿真分析軟件：Pspice、Orcad、Protel與Matlab之運用
實驗－配合致動器之驅(qū)動器與控制器之設(shè) 計與實作
精密位移與速度量測：光學(xué)感測原理與相關(guān)應(yīng)用組件說明（理論講授）

光學(xué)式、電感式、電容式高分辨率精密傳感器
驅(qū)動器電子電路制作
數(shù)字訊號處理控制板
頻譜分析儀
控制器軟件開發(fā)環(huán)境
微動機構(gòu)設(shè)計軟件
驅(qū)動器電子電路設(shè)計軟件