資料介紹
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?From SSI to VLSI/ULSI/SLSI
?Device Miniaturization---The Key of Progress
Micro-fabrication Technology---The Way to Progress
?Si and its based Thin Films---The Material Base for Progress
?Moore’s Law
?Semiconductor Technology Roadmap
?Leading Edge CMOS Technology
?Microelectronics Revolution and Information Age
?From Micro- to Nano-
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