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MEMS是指微型化的器件或器件的組合，把電子功能與機(jī)械的、光學(xué)的或其他的功能相結(jié)合的綜合集成系統(tǒng)，采用微型結(jié)構(gòu)，使之在極小的空間內(nèi)達(dá)到智能化的功效。MEMS是一門多學(xué)科交叉的新興學(xué)科，涉及精密機(jī)械、微電子材料科學(xué)、微細(xì)加工、系統(tǒng)與控制等技術(shù)學(xué)科和物理、化學(xué)、力學(xué)、生物學(xué)等基礎(chǔ)學(xué)科。它將在21世紀(jì)的信息、通信、航空航天、生物醫(yī)療等多方面獲得重大突破，從而對(duì)世界科技、經(jīng)濟(jì)發(fā)展和國防建設(shè)帶來深遠(yuǎn)響，德國Weissler把MEMS稱為系統(tǒng)工業(yè)發(fā)展所需要的‘維生素”。MEMS具有以下幾個(gè)非約束性的特征：
?。╨） 尺寸在毫米到微米范圍內(nèi)，區(qū)別于傳統(tǒng)的宏觀機(jī)械：
?。?） 以硅微加工技術(shù)為主要的制造技術(shù)：
?。?） 在無塵室大批量、低成本生產(chǎn)，使性價(jià)比比傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅度地提高；
?。?） MEMS中的機(jī)械不限于力學(xué)中的機(jī)械，它代表一切具有能量轉(zhuǎn)化、傳輸?shù)裙δ艿男?yīng)，包括力、熱、光、磁、化學(xué)、生物等效應(yīng)：
?。?） MEMS的目標(biāo)是“微機(jī)械”與IC（ Integrated circle）結(jié)合的微系統(tǒng)，并向智能化方向發(fā)展。
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