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硅微諧振式傳感器具有靈敏度和分辨率高、準數(shù)字信號輸出、抗干擾能力強的優(yōu)點，在
精確測量領(lǐng)域具有獨特的優(yōu)勢。其中，電熱激勵& 壓敏電阻拾振的微諧振器與工業(yè)’( 技術(shù)兼容，可將敏感元件與信號調(diào)理電路集成在一塊芯片上構(gòu)成功能強大的智能傳感器。著重論述了電熱激勵& 壓敏電阻拾振的硅微諧振器的幾種典型結(jié)構(gòu)及其制造技術(shù)，并在此基礎(chǔ)上闡述了以該諧振
器為敏感元件開發(fā)的質(zhì)量流量、氣體、壓力、溫度和接近傳感器等多種諧振式傳感器。
關(guān)鍵詞：電熱激勵；壓敏電阻拾振；微諧振器；諧振式傳感器
精確測量領(lǐng)域具有獨特的優(yōu)勢。其中，電熱激勵& 壓敏電阻拾振的微諧振器與工業(yè)’( 技術(shù)兼容，可將敏感元件與信號調(diào)理電路集成在一塊芯片上構(gòu)成功能強大的智能傳感器。著重論述了電熱激勵& 壓敏電阻拾振的硅微諧振器的幾種典型結(jié)構(gòu)及其制造技術(shù)，并在此基礎(chǔ)上闡述了以該諧振
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