資料介紹
設(shè)計(jì)和操作
配備有角隅反射棱鏡的MI系列微型干涉儀屬于精密測長儀器,其設(shè)計(jì)旨在可以同用戶系統(tǒng)相組合,并適用于各種類型的實(shí)驗(yàn)設(shè)備和實(shí)驗(yàn)任務(wù)。微型傳感測頭和角隅反射棱鏡可永久安裝在計(jì)量系統(tǒng)內(nèi)。光纖耦合的傳感測頭不僅有益于多種類型的應(yīng)用,而且使整個(gè)測量系統(tǒng)更具通用性。
微型化的干涉頭將角隅反射棱鏡的運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為光學(xué)干涉信號(hào),并傳入光電信號(hào)處理/電源供給單元進(jìn)行處理并輸出為長度值。
在較大動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)進(jìn)行穩(wěn)頻的He-Ne激光以及環(huán)境因素對(duì)激光波長影響的修正構(gòu)成其高計(jì)量精度的基礎(chǔ)。
儀器本身不含線性誤差。儀器操作及測量結(jié)果顯示既可用分離的鍵盤/顯示單元,也可用PC運(yùn)行可選的軟件包。
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