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激光干涉儀快速檢測三坐標(biāo)測量機(jī)垂直度

2022-12-28 | docx | 1.94 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

三坐標(biāo)測量機(jī)測量精度高、效率高,廣泛應(yīng)用在精密加工檢測領(lǐng)域。數(shù)控機(jī)床是保證工件測量與加工精度的關(guān)鍵設(shè)備。其中作為高精度的測量基準(zhǔn),幾何誤差的快速、高精度檢測技術(shù)都是三坐標(biāo)測量機(jī)性能提升的關(guān)鍵。三坐標(biāo)測量機(jī)運行速度的加快,動態(tài)誤差往往會比靜態(tài)/準(zhǔn)靜態(tài)誤差對測量精度影響更大。特別在高速測量過程中,產(chǎn)生的自激振動和受迫振動,都會產(chǎn)生動態(tài)誤差。激光干涉儀是常用的機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)幾何誤差檢測的手段。

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