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標(biāo)簽 > 蝕刻機(jī)
蝕刻機(jī)可以分為化學(xué)蝕刻機(jī)及電解蝕刻機(jī)兩類(lèi)。在化學(xué)蝕刻中是使用化學(xué)溶液,經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)以達(dá)到蝕刻的目的,化學(xué)蝕刻機(jī)是將材料用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。
蝕刻機(jī)可以分為化學(xué)蝕刻機(jī)及電解蝕刻機(jī)兩類(lèi)。在化學(xué)蝕刻中是使用化學(xué)溶液,經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)以達(dá)到蝕刻的目的,化學(xué)蝕刻機(jī)是將材料用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。
基本原理是在真空低氣壓下,ICP 射頻電源產(chǎn)生的射頻輸出到環(huán)形耦合線圈,以一定比例的混合刻蝕氣體經(jīng)耦合輝光放電,產(chǎn)生高密度的等離子體,在下電極的RF 射頻作用下,這些等離子體對(duì)基片表面進(jìn)行轟擊,基片圖形區(qū)域的半導(dǎo)體材料的化學(xué)鍵被打斷,與刻蝕氣體生成揮發(fā)性物質(zhì),以氣體形式脫離基片,從真空管路被抽走。
蝕刻機(jī)主要應(yīng)用于航空、機(jī)械、標(biāo)牌工業(yè)中,蝕刻機(jī)技術(shù)廣泛地被使用于減輕重量(Weight Reduction)儀器鑲板,銘牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄形工件等之加工。
等離子體蝕刻機(jī)需要與濕法蝕刻相同的元素:化學(xué)蝕刻劑和能量源。從物理上講,等離子體蝕刻機(jī)由室、真空系統(tǒng)、氣體供應(yīng)、終點(diǎn)檢測(cè)器和電源組成(如下圖所示)。晶圓...
PCB生產(chǎn)過(guò)程:為什么PCB內(nèi)外層蝕刻方法不一樣
如果單板或拼板的尺寸不合適,PCB生產(chǎn)過(guò)程中,就會(huì)產(chǎn)生很多的原料廢邊,PCB板廠會(huì)把之些廢邊的價(jià)格都加到你的板子上,這樣你的PCB板單位價(jià)格就貴一些。
如何實(shí)現(xiàn)PCB蝕刻工藝中的均勻性呢?有哪些方法?
PCB蝕刻工藝中的“水池效應(yīng)”現(xiàn)象,通常發(fā)生在頂部,這種現(xiàn)象會(huì)導(dǎo)致大尺寸PCB整個(gè)板面具有不同的蝕刻質(zhì)量。
2023-08-10 標(biāo)簽:傳感器pcbPCB設(shè)計(jì) 3317 0
硅晶片的酸基蝕刻:傳質(zhì)和動(dòng)力學(xué)效應(yīng)
拋光硅晶片是通過(guò)各種機(jī)械和化學(xué)工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(pán)(晶片),然后是一個(gè)稱為拍打的扁平過(guò)程,包括使用磨料清洗晶片。通過(guò)蝕刻消除了以往成形過(guò)...
一、蝕刻的目的 蝕刻的目的即是將前工序所做出有圖形的線路板上的未受保護(hù)的非導(dǎo)體部分銅蝕刻去,形成線路。 蝕刻有內(nèi)層蝕刻和外層蝕刻,內(nèi)層采用酸性蝕刻,濕膜...
三星和SK海力士出手!限制二手半導(dǎo)體設(shè)備售賣(mài)
為了避免違反美國(guó)的規(guī)定,SK海力士最近雖然出售了一些淘汰的半導(dǎo)體設(shè)備,但非常謹(jǐn)慎地選擇了買(mǎi)家,確保不包括那些受美國(guó)控制的核心設(shè)備,比如晶圓減薄機(jī)和蝕刻機(jī)。
2024-03-13 標(biāo)簽:晶圓SK海力士半導(dǎo)體設(shè)備 820 0
泛林集團(tuán)韓國(guó)公司業(yè)務(wù)總裁變更,面臨日電競(jìng)爭(zhēng)與與P的合作挑戰(zhàn)
韓國(guó)分公司新掌門(mén)人Park Joon-hong此前能在泛林集團(tuán)擔(dān)任多個(gè)關(guān)鍵職位,如蝕刻首席技術(shù)官及客戶關(guān)系主管。他有能力領(lǐng)導(dǎo)泛林集團(tuán)在韓的所有部門(mén),包括...
2024-02-20 標(biāo)簽:NAND泛林集團(tuán)蝕刻機(jī) 897 0
在微電子制造領(lǐng)域,光刻機(jī)和蝕刻機(jī)是兩種不可或缺的重要設(shè)備。它們?cè)谥圃彀雽?dǎo)體芯片、集成電路等微小器件的過(guò)程中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。然而,盡管它們?cè)诠δ苌嫌兴嗨?..
利用新穎的熱電現(xiàn)象構(gòu)建一種能夠?qū)崟r(shí)可視化熱流的超薄傳感器
電子或機(jī)械設(shè)備產(chǎn)生過(guò)多的熱量是性能低下的標(biāo)志或原因。
上海伯東大口徑射頻離子源成功應(yīng)用于12英寸IBE 離子束蝕刻機(jī)
上海伯東美國(guó)?KRi?考夫曼公司大口徑射頻離子源?RFICP 380, RFICP 220 成功應(yīng)用于 12英寸和 8英寸?IBE 離子束蝕刻機(jī), 實(shí)現(xiàn)...
中國(guó)光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)90nm制程芯片生產(chǎn)
對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)有一定了解的人都知道,如今國(guó)內(nèi)頂尖的半導(dǎo)體企業(yè),基本上都來(lái)自上海。而該地區(qū)之所以能夠形成如此大規(guī)模的集成電路市場(chǎng),主要是一些企業(yè)在推動(dòng)。
中國(guó)芯片行業(yè)逐漸崛起 5nm蝕刻機(jī)技術(shù)實(shí)現(xiàn)新突破
在芯片制造和生產(chǎn)過(guò)程當(dāng)中,光刻機(jī)負(fù)責(zé)在晶圓之上描繪設(shè)計(jì)好的紋路,而蝕刻機(jī)就是負(fù)責(zé)在光刻機(jī)描繪好紋路之后,利用物理或者是化學(xué)的手段,將光刻機(jī)描繪好的紋路蝕...
2022-10-08 標(biāo)簽:蝕刻機(jī) 9153 0
芯片的設(shè)計(jì)制造技術(shù)已經(jīng)成為全球大國(guó)競(jìng)爭(zhēng)的重要標(biāo)志之一,芯片的生產(chǎn)制造設(shè)備為芯片的制造奠定了基礎(chǔ),下面小編帶大家了解一下芯片制造所需要的的設(shè)備。
好消息,好消息,中微公司于近期成功研制出3nm蝕刻機(jī),且完成了原型機(jī)的設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試及初步的工藝開(kāi)發(fā)和評(píng)估,并已進(jìn)入量產(chǎn)階段。
臺(tái)積電宣布將在未來(lái)3年投入1000億美元大舉擴(kuò)產(chǎn)
臺(tái)積電總裁魏哲家表示,第一季在高效能運(yùn)算需求強(qiáng)勁、車(chē)用需求回溫下,及智能型手機(jī)季節(jié)性影響略為和緩等因素,帶動(dòng)產(chǎn)能利用率維持高檔;雖然客戶庫(kù)存維持高于季節(jié)...
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