真空等離子清洗機VP-R5真空腔體石英玻璃材質(zhì)，腔體容積5L，兩路進氣通道，進氣量可調(diào)，流量實時監(jiān)測，數(shù)顯真空檢測，實時觀察自動泄壓動態(tài)，中英文操作系統(tǒng)，觸摸屏控制，頻率13.56MHz，能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運行30分鐘，腔體溫度不高于32℃，不損傷樣品，適用于微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。
--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 產(chǎn)品名稱 真空等離子清洗機
- 型號 VP-R5
- 腔體材質(zhì) 石英玻璃
- 腔體容積 5L
- 射頻頻率 13.56MHz
- 功率 160W
- 操作方式 自動
- 操作控制 觸摸屏控制
- 工作氣體 2路
- 腔體溫度 小于32攝氏度
- 真空檢測 數(shù)字顯示
- 泄壓 自動泄壓
--- 產(chǎn)品詳情 ---
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