晶圓電阻測(cè)試儀
獨(dú)特設(shè)計(jì)開發(fā)的高精度電阻率測(cè)量儀器。在半導(dǎo)體基板、導(dǎo)電薄膜基板等研發(fā)，檢驗(yàn)檢查工序或制造生產(chǎn)線上的可以高精度地獲得和評(píng)估薄層電阻值和電
阻率值。
1）帶開關(guān)功能的智能面板，方便進(jìn)行詳細(xì)設(shè)置，。
2）合理緊湊的設(shè)計(jì)，方便生產(chǎn)與使用。
3）滿足從低電阻到高電阻的寬范圍的測(cè)量。
4）測(cè)量因整流引起的誤差的電流極性切換 。
5）每次測(cè)量開始時(shí)會(huì)自動(dòng)調(diào)零功能。
6）自動(dòng)設(shè)置最佳電流的自動(dòng)量程功能。
7）樣品厚度校正功能。
8）測(cè)量值平均值顯示和打印平均值計(jì)算功能。
9）半導(dǎo)體溫度補(bǔ)償功能
10）多種溫度修正系數(shù)輸入功能。
11）帶有打印數(shù)據(jù)用的界面。
12）帶數(shù)據(jù)傳輸接口。
