表面欠陥検査裝置「魔鏡」
本設(shè)備應(yīng)用魔鏡的原理，高靈敏度地檢查鏡面樣品的表面狀態(tài)?？梢愿哽`敏度地檢測樣品表面上的不均勻性，翹曲，拋光不均勻性等，檢測結(jié)果在監(jiān)視器上用亮度（白）和暗度（黑）表示。檢查可以在非接觸和非破壞性的情況下進行，并且可以立即確認樣品的表面狀態(tài)。這是一款使用免維護光學系統(tǒng)，可操作性優(yōu)異的設(shè)備。
原理： 基于事前所設(shè)定的缺陷判斷的閾値，使所取得的圖像，缺陷種類的判別，缺陷部位的可視化，位置坐標算出，缺陷尺寸表示等進行自動解析，可在界面針對數(shù)據(jù)，對缺陷進行逐一觀測。
特長 用途
１．所有的表面狀態(tài)都是即時的。 ○鏡面晶圓的表面檢查
２．我們的光學系統(tǒng)對應(yīng)是1級的。 ○滑移線的檢查
３．光學系統(tǒng)是免維護的。 ○玻璃基板的檢測
４．根據(jù)檢查內(nèi)容，檢測靈敏度/檢測放大率 ○其他鏡面基板的檢測
○Film等的基板以外的檢查
５．根據(jù)每個樣品和檢查位置定制最佳光學系統(tǒng)。
